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??真空室(shi)槼格　　　mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

??極(ji)限壓力(li)　　　　Pa

1×10^-3

??工(gong)作(zuo)壓(ya)力　　　　Pa

2×10^-2

??恢復(fù)(fu)真空時(shí)間　　min

≤10 （從(cong)大氣(qi)至(zhi)2×10^-2Pa）

??壓陞(sheng)率　　　　　Pa/h

≤0.3

??離子轟(hong)擊(ji)源　　　KVA

4

4

12

20

??蒸髮源(yuan)Ⅰ　　　　KVA

15

20

25

40

??蒸髮源Ⅱ　　　　KVA

15

20

27/18

45

??蒸(zheng)鍍(du)材料

Al咊SiO₂/MgO₂

??工件(jian)轉(zhuǎn)(zhuan)動(dòng)方(fang)式(shi)

公轉(zhuǎn)加自(zi)轉(zhuǎn)（無(wú)級(jí)調(diào)(diao)速）

??工(gong)件自(zi)轉(zhuǎn)軸(zhou)數(shù)(shu)

6

10

??控(kong)製(zhi)方式(shi)

PLC

PLC/PLC+計(jì)算機(jī)(ji)

??冷卻水量(liang)　　　　m³/h

5

5

7

9

??總(zong)功率(lv)　 ?KW　　　　　

～60

～85

～120

～200

??真(zhen)空(kong)室(shi)槼格(ge)　　　mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

??極(ji)限壓力(li)　　　　Pa

1×10^-3

??工(gong)作(zuo)壓力　　　　Pa

2×10^-2

??恢復(fù)真空時(shí)(shi)間(jian)　　min

≤10 （從大氣(qi)至2×10^-2Pa）

??壓(ya)陞率(lv)　　　　　Pa/h

≤0.3

??離(li)子轟(hong)擊源(yuan)　　　KVA

4

4

12

20

??蒸(zheng)髮(fa)源Ⅰ　　　　KVA

15

20

25

40

??蒸髮(fa)源Ⅱ　　　　KVA

15

20

27/18

45

??蒸(zheng)鍍(du)材(cai)料(liao)

Al咊(he)SiO₂/MgO₂

??工(gong)件轉(zhuǎn)(zhuan)動(dòng)(dong)方(fang)式

公轉(zhuǎn)(zhuan)加自轉(zhuǎn)(zhuan)（無(wú)級(jí)調(diào)(diao)速）

??工件(jian)自轉(zhuǎn)軸(zhou)數(shù)

6

10

??控(kong)製(zhi)方式(shi)

PLC

PLC/PLC+計(jì)算機(jī)

??冷(leng)卻(que)水量(liang)　　　　m³/h

5

5

7

9

??總功率　 ?KW　　　　　

～60

～85

～120

～200