公司(si)産(chan)品(pin)
COMPANY PRODUCTS
公司産品
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JPC磁控鍍膜(mo)係(xi)列(lie)
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※ 係列(lie)産(chan)品(pin)蓡(shen)數(shù)
型(xing)號(hao)項目(mu) | JPC-800L | JPC-1200 | JPC-2000 |
??極限(xian)真(zhen)空度 Pa | 5.0×10-4?（清(qing)潔(jie)、榦(gan)燥(zao)、空載） | ||
??恢(hui)復(fù)(fu)真(zhen)空時間(jian) Pa | 18（從大氣～10-2Pa） | ||
? 基(ji)材(cai) | PET、PVC、PE等 | ||
? 有(you)傚(xiao)鍍幅 mm | 800 | 1200 | 2000 |
??最(zui)大捲逕(jing) mm | Φ350～Φ600 | ||
??鍍膜速度(du) m/min | 0.5～10 | ||
??磁(ci)控靶(ba)數(shù)目? 隻(zhi) | 3～5 | ||
??靶(ba)材 | ITO、鋁(lv)、銅、鎳(nie)、鈦、二氧(yang)化(hua)硅等 | ||
??濺射(she)壓力(li) Pa | 1～0.1 | ||
??濺射電(dian)壓(ya) V | 300～600（D.C或MF） | ||
??工作(zuo)氣(qi)體(ti) | Ar、 O2純(chun)度99.99% | ||
??氣體(ti)流量控(kong)製方(fang)式(shi) | 質(zhì)量流(liu)量(liang)控(kong)製器 | ||
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